제품 소개
전류의 누설을 막아주는 SOD (Spin-on Dielectrics)
SOD (Spin-on Dielectrics)는 SiO₂ 박막 제조 공정에 적용되는 코팅 물질로, 반도체의 트랜지스터와 트랜지스터 사이 또는 층간을 절연하는 물질입니다. 기존에는 CVD(Chemical Vapor Deposition) 공정을 이용하여 만들었으나, 패턴이 미세화됨에 따라 평탄하고 void가 생기지 않는 스핀코팅공정(1)에 본 제품이 적용되고 있으며, 생산성 향상과 설비투자 비용 절감을 가능하게 해 주는 소재입니다.(1) 스핀 코팅 공정 : 코팅할 물질을 웨이퍼에 떨어뜨리고 고속으로 회전시켜 얇게 퍼지게 하는 공정
제품 특징
SOD (Spin-on Dielectrics) 특장점
우수한 품질 관리
높은 SiO2 전환률
우수한 Gap-Fill 특성과 평탄성
고객 공정 최적화
극소량의 금속, 염소 및 유기 화합물의 함량 저감
고순도 막 형성으로 고객의 신뢰성 향상
다양한 Etch 및 Anneal 조건에도 우수한 물성
버튼 클릭 시 해당 페이지로 이동합니다.
